تاثیر فرایند پیرسازی بر رفتار رسانایی الکتریکی لایه ضخیم اکسید قلع در حضور اتانول

نویسندگان

1 , Materials and Energy Research Center

2 Ceramic, Materials and Energy Research Center

10.30501/jamt.2631.70127

چکیده

در این مقاله، تغییرات رسانایی لایه ضخیم SnO2 در حضور بخار اتانول، قبل و بعد از فرایند پیرسازی مورد ارزیابی قرار گرفت. فرایند پیرسازی در دماهای350 تا �C750 و مدت زمان 96 ساعت بطور پیوسته انجام گرفت. نتایج نشان می دهندکه با افزایش دمای پیرسازی، رسانایی در دمای اتاق (Iair) کاهش می یابد اما حداکثر رسانایی در حضور اتانول (IMAX g) تغییری نمی کند. این تغییر منجر به افزایش حساسیت لایه اکسید قلع می گردد.

عنوان مقاله [English]

Effect of Aging on the Electrical Conductivity of Tin Oxide Thick Film in Presence of Ethanol

چکیده [English]

Variations in electrical conductivity of SnO2 thick film exposed to ethanol vapor before and after aging process were investigated. Aging is performed continuously at 350-750ºC and 96 hours. The Results show that room conductivity (Iair) decreases with aging temperature. However, the maximum conductivity in presence of ethanol (IMAX g) remains approximately constant. Consequently, these variations result in the increase of electrical conductivity of tin oxide layer.

کلیدواژه‌ها [English]

  • Argon Plasma
  • Multicrystalline Silicon
  • Power Variation
  • Silicon Nitride
  • Transmittance